Convencional
Motor principal: Interferômetro Michelson volumoso com componentes ópticos, mecânicos e elétricos discretos.
Alinhamento Óptico: O desalinhamento dos componentes dos interferômetros deteriora o desempenho.
Medindo a posição do espelho em movimento: Interferômetro adicional com Laser HeNe para sensoriamento de posição
NeoSpectra
Motor principal: Interferômetro Michelson de chip único com estrutura monolítica opto eletromecânica
Alinhamento Óptico: Os componentes são intrinsecamente alinhados pela litografia
Medindo a posição do espelho em movimento: Sensoriamento elétrico da capacitância no chip entre o motorista do motor e a estrutura fixa.
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